技术编号：9402088
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例总体上涉及微机电系统(MEMS)数字可变电容器(DVC)及其制造方法。相关技术描述MEMS DVC可以具有布置在RF电极上的板式或悬臂式电极。板式或悬臂式电极能够从与RF电极隔开的第一位置移动到与RF电极隔开的第二位置。第二位置比第一位置更靠近RF电极，并且由此具有更高的电容。板式或悬臂式电极离RF电极越远，MEMS DVC的电容越低。为了移动板式或悬臂式电极，另一电极施加电压以将板式或悬臂式电极向着RF电极拉近。可惜的是，板式或悬臂式电极可能...
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