技术编号:9402104
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。从很早以前开始,在光学零件的粘合、涂料或胶粘剂的硬化、半导体生产的晶圆周边曝光等方面所使用的光源装置中,一直采用放电灯作为光源。该种类的放电灯是一种例如在氙灯中使氙(Xe)气发光、在超高压水银灯中使水银发光、在金属齒化物灯中使水银及金属卤化物发光的放电灯,以比发光管的直径要短的电弧,即以较短的电极间距离放电,产生超高亮度的光。专利文献1中所示的是使用上述放电灯的光源装置的示例。专利文献1所述的光源装置具备有放电管的电极与放电管一体设置的放电灯。替换灯时,若...
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