技术编号：9414948
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。白光扫描干涉术作为一种重要的测量方法具有非接触、测量速度快和测量精度高 等优点，被广泛的应用到汽车、光学、半导体工业等产业中并取得了巨大的发展。它利用宽 光谱的白光作为照明光源，使干涉条纹只出现在很短的空间范围以内。白光干涉条纹中的 最大光强值点就代表了零级干涉条纹的位置，有效的避免了传统单色光相移干涉中的相位 模糊问题，使白光干涉术的垂直测量范围理论上仅受扫描装置行程的限制。目前，对该技术的研究重点主要在如何提高测量精度上。而测量精度的研究又主 要集中于...
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