技术编号:9415281
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。现有的压力传感器的感应原理主要包括两种压阻感应和电容感应。压阻感应的原理是压力作用下,由于膜变形产生的应力导致膜上电阻发生变化。电容感应的原理一般是将传感器设计成一个电容结构,将电容的其中一个极板设计为可动结构。压力作用下,该可动电极发生形变或位移,使电容间距发生变化,传感器的电容值也随之改变。但这两种压力传感器都存在一些缺陷(I)压阻式压力传感器这类压力传感器一般对设计的要求很高,对压敏电阻材料的电阻率、电阻形状以及摆放位置都有严格要求,而且加工工艺的要...
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