技术编号:9416691
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。如今电子设备走入了千家万户,而且越来越趋向于小型化、微型化,这就要求制造电子芯片的机器一一光刻机达到更高的精度,纳米级精度已经成为了研制光刻机需要达到的一个普遍标准,要达到如此高的控制精度,超高精度的传感器和效果更好的控制算法必不可少,同时,整个系统采集数据的同步性和实时性也显得尤为重要。比如承载硅片的掩膜台微动台,它将承载着娃片一起进行纳米级精度的运动,使得光刻形成在娃片上,最终得到合格的芯片,它的运动控制指标直接影响了芯片的质量。由于该微动台是一个拥有...
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