技术编号：9419054
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。随着平板显示(FPD)技术的发展，人们对显示器分辨率和画面刷新速率的追求越来越高，因此新材料和新工艺的发展也迫在眉睫。目前TFT-LCD领域，导电层金属材料主要以铝和钼为主，铝和钼的优点在于成膜工艺简单，黏附性和平坦性较好，较柔软不容易发生爬坡断线，而且不容易扩散(膜层污染)。对于小尺寸和低分辨率的面板而言，铝是首选的理想导电金属材料。由于铝的电阻率相对较大，因此对于大尺寸和高分辨率而言，就不能满足需求了。作为导电金属材料，铜的导电率要远远优于铝，对于15...
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