技术编号:9419090
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 目前沟槽型超级结产品的耐击穿电压能力主要是由在外延层的沟槽内的P型(或 者N型)杂质与外延层的N型(或者P型)杂质在反偏电压下产生的耗尽区来提供的。所 W耗尽区的有效厚度也就决定了沟槽型超级结产品的击穿电压的高低。 而耗尽区的厚度主要是由沟槽的深度来决定的,所W沟槽的深度的变化,会直接 影响沟槽型超级结产品的耐压能力。而沟槽加工的深度的变动程度,也会影响产品的击穿 电压的变化程度。 沟槽的深度决定了产品的击穿电压能力,击穿电压的大小与沟槽的深度成正比。 ...
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