光吸收层及含该层层系统、层系统制造方法及适用溅镀靶的制作方法技术资料下载

技术编号:9422467

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本发明设及一种光吸收层,该光吸收层在550nm的波长条件下具有大于0. 7的 kappa吸收系数,W及设及一种包含运类光吸收层的层系统。 此外,本发明还设及一种用于制造运类层或层系统的方法W及一种在该方法中使 用的瓣锻祀。背景技术 光吸收的层系统例如通过借助于阴极瓣射(瓣锻)而叠加沉积的层产生。就此, 通过利用高能的离子(通常为稀有气体离子)轰击而从瓣锻祀提取原子或由固体组成的化 合物并且使其转变为气相。处于气相状态的原子或分子最后通过液化而沉积在位于瓣...
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