技术编号：9422513
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利说明増加光展量光学组件相关申请的交叉引用德国专利申请N0.102013204443.7的内容作为引用并入本文。本发明涉及一种用于同时增加光展量(etendue)小于0.1mm2的光源的使用发射的光展量的光学组件。而且，本发明涉及一种包含这种光学组件的照明光学单元、一种包含这种照明光学单元的光学系统、一种包含这种照明光学单元的照明系统以及一种包含这种光学系统的投射曝光设备。背景技术从US 2003/0002022 Al、DE 10 2009 025 65...
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