光源装置以及具有光源装置的曝光装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9422924

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本发明涉及能够用于投影仪、曝光装置等的光源装置,尤其涉及作为光源使用的放电灯的配置、或针对放电灯的光量/照明控制。背景技术在投影仪、曝光装置等中,使用了具有高亮度且小型、直径较小的短弧型放电灯的光源装置。光源装置具有反射面为旋转抛物面的碗状的反射镜,来自放电灯的光借助反射镜而朝规定方向照射。尤其是,在提高发光强度的情况下,组装出设置有多个由放电灯和反射镜构成的灯单元的多灯式光源装置。在灯单元中,构成为沿着反射镜的中心轴安装放电灯,利用反射镜将从放电管朝径向...
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