一种电磁放气真空阀的制作方法技术资料下载

技术编号:94263

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本发明属真空技术领域。目前已有的电磁放气真空阀,如上海阀门二厂的DDC-JQ系列电磁带放气真空阀和北京仪器厂的DC-30型低真空电磁阀产品,其主阀与放气阀均由主阀杆带动,两阀动作是同步的,即当主阀关时,放气阀开;或当主阀开时,放气阀关闭。这样,特别是在开主阀时。由于阀腔内原是大气,此时虽然放气阀随主阀开而同时关闭,但阀腔内大气不能很快被机械泵抽走而将冲入真空系统,致使系统真空度降低。又因已有的阀门其漏气率在10-3~10-4托升/秒,故关阀,系统停止工作后,系统在一天内就不能保持其所需的真空度。此时若用火花检漏仪检...
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