技术编号：9428394
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在光学系统中采用非球面透镜可显著简化系统、改善像质、减小系统的外尺寸及重量。因此，随着科学技术的不断发展，非球面光学零件的制造需求显著增加，尤其在光刻物镜光学系统中，高精度非球面光学零件的数量占总光学零件数量的50%以上。由于非球面具有唯一光轴，同时非球面上各点曲率半径存在明显差异，因此普通球面抛光工艺无法解决非球面预抛光加工问题，目前多采用小磨头抛光工艺进行非球面预抛光。然而，小磨头预抛光非球面很容易残留加工轨迹状的中频误差，因此在对非球面中频误差要求极...
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