技术编号：9429149
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。传统的激光扫描共聚焦轮廓仪的工作原理如图1所示。将激光光源1、被照物点7以及探测器5放置在彼此的共轭位置，点光源由光源针孔2来保证；光源通过物镜6在物体表面聚焦成衍射极限的光点，由其反射光沿原路返回，焦点以外的光被探测针孔3屏蔽，来自物镜焦点处的光信号通过分光镜4被探测器5捕捉，通过探测光强信号的强弱变化获得物体表面的轮廓信息。上述所述的共焦轮廓仪的分辨率较普通光学轮廓仪要好，但它仍具有一些局限，在波长λ —定的情况下，分辨率η受物镜的数值孔径NA的限制，...
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