技术编号：943
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种新型耐热感光耐蚀膜。近年来，人们进行大量工作，研制用作电子元件和光学元件的耐热光敏聚合材料。这类元件包括表面保护膜，例如接头涂膜、钝化膜、缓冲涂膜和α-粒子保护膜;用于半导体器件的绝缘膜，例如多层电路的层间绝缘膜;用于液晶显示器件的分子定向膜;以及用于薄膜磁头或多层印刷电路板的绝缘膜。在此以前，用作耐热光敏组合物的是那些已知的能生成交联结构的组合物，该类组合物包括一种聚酰胺酸(它是聚酰亚胺的母体，为光敏化合物)或一种通过将活性官能团(如含双键的官能团)引入到聚酰胺酸(光敏的聚酰亚胺母体)的酯侧链上而制...
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