常压炉管生长的薄膜厚度的控制方法技术资料下载

技术编号:9430685

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过去数十年来,晶体管的尺寸不断地变小。从几个微米(micrometer)的等级缩小到目前的几个纳米,晶体管尺寸不断缩小,让集成电路的效能大大提升。第一,越小的晶体管象征其通道长度减少,让通道的等效电阻也减少,可以让更多电流通过。第二,晶体管的面积越小,制造芯片的成本就可以降低,在同样的封装里可以装下更高密度的芯片。一片集成电路制程使用的晶圆尺寸是固定的,所以如果芯片面积越小,同样大小的晶圆就可以产出更多的芯片,于是成本就变得更低了。第三,晶体管的尺寸变小意...
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