技术编号:9430853
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电容式微机械单支点摆式传感器,具体涉及一种基于硅硅键合的减小封装应力的微机械加速度计。背景技术作为MEMS技术的一个重要应用领域,硅微机械加速度计以其低成本、小体积、低功耗、抗冲击、可靠性高等优点,已广泛应用于惯性测量的各个领域。而电容式硅微机械加速度计又以其制作工艺简单、重复性好、温度系数低等优良特性而受到广泛关注,成为目前研制最多、应用最广的惯性器件之一。硅微机械电容式加速度计的制作方法有表面微机械加工法和体硅微机械加工法两大类。前者与集...
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