阻值可变的参考单元的制作方法技术资料下载

技术编号:9434144

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现有的eFuse(电熔丝)产品在读取的时候会使用未形成自对准硅化物的多晶硅(unsilicide ploy)作为比较电阻,形成一个参考单元(reference cell)。每一个电恪丝对应一参考单元和一个差分电路。差分电路比较通过电恪丝和参考单元电阻的大小从而现实“O”和“I”状态的区分。电熔丝在读取的时候,通过一个差分电路或者比较放大器,比较电熔丝和参考单元的电阻大小,从而判断电熔丝的状态是“O”还是“I”。目前的产品中,全部采用一个固定的电阻作为参考单...
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