技术编号：9434473
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。COMS像素电路基板可以作为硅基液晶和硅基OLED微型显示器的像素电路基板，其采用CMOS技术在硅片上加工制作而成。但现有技术中COMS像素电路基板一旦检验不合格，就只能丢弃浪费，不可再次利用，不环保，成本极高。因此提供一种既能够将制备失败的原材料回收利用，减低了成本，又能够完好的保留钝化层和电路连接点形貌特性、界面态特性和电学特性；符合节能环保的理念的一种COMS像素电路基板回收工艺是电路基板加工领域中刻不容缓的事情。化学机械抛光(CMP)是一种半导体材...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。