技术编号：9434571
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 在液晶显示领域中，设有薄膜晶体管（英文thin film transistor，简称TFT) 的阵列基板作为液晶显示面板的开关，其结构与工艺对该液晶显示面板的显示效果影响至 关重要。而为响应目前大尺寸化需求，且降低信号传输过程中的RC延迟等问题，低成本，低 阻抗铜显然制成TFT的栅极、源极、漏极的不二选择。 在目前的TFT制程工艺中，TFT的栅极、源极、漏极常采用钼层与铜层叠置或钛层 与铜层叠置的结构，其中，钼层和钛层作为缓冲层。在TFT制作过程中，先分...
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