技术编号：94381
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于一种可进行真空度测量的小型质谱计。质谱计和真空计通常是配备在一起工作的，若质谱计本身能测量真空度，就能省去一台真空计，这对大量应用的小型质谱计来说，有很大经济价值。目前研究的主要是四极质谱计，其研究结果可归纳成两类一是用其积分谱进行真空度测量〔西德AMP——3型，中国北京分析仪器厂小型四极质谱计〕；另一种方法是在离子源中再设置一个独立的作真空度测量的离子收集极〔日本ANELVA公司产，四极质谱计〕。上述两种方法的共同缺点是离子源的污染，质谱计参数的调整都会影响压强的刻度值，更重要的是共用一根质谱管灯丝，进...
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