技术编号：9438264
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 纳米工艺技术是一种在纳米量级上解释物质的特性并对其进行控制的技术，纳米 工艺技术在原子、分子量级上以物理或化学方法对物质进行控制，从而发现出有用的结构 和功能。 由此，材料所具有的特性表现出与以往完全不同的特性，因而，目前在物理、化学、 材料、电气、电子等整个学科领域中，为了开发出纳米尺寸的新元件，正在对纳米工艺技术 进行各种研究。 例如，利用了金属纳米结构的元件的情况下，能够应用于利用现有技术制造出的 块体元件（bulk element)难以实现的高效...
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