技术编号：9438833
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 机电系统（EMS)包含具有电气及机械元件、致动器、换能器、传感器、光学组件（例 如镜面及光学膜）及电子器件的装置。EMS装置或元件可以多种尺度制造，包含但不限于微 尺度及纳米尺度。例如，微机电系统（MEMS)装置可包含大小在约一微米到数百微米或更大 的范围内的结构。纳米机电系统（NEMS)装置可包含大小小于一微米（包含（例如）小于 数百纳米的大小）的结构。可使用沉积、蚀刻和/或其它蚀刻掉衬底和/或已沉积材料层 的部分或者添加层以形成电装置及机电装置的微加...
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