技术编号：9439626
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明设及静电容量式传感器（capacitancetypesensor)、声音传感器W及麦 克风。具体而言，本发明设及通过由振动电极板（膜片diap虹agm)与固定电极板组成的 电容器结构构成的静电容量式传感器。另外，本发明设及将声音振动变换为电信号而输出 的声音传感器（声音变换器）和使用该声音传感器的麦克风。特别地，本发明设及使用 MEMS(MicrC)ElectroMechanicalSystem微电子机械系统）技术所制作的微小尺寸的静 电容量式传感...
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