技术编号：9443262
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。硅片清洗是太阳能电池板制造中最重要、最频繁的的步骤之一。目前对硅片的清洗，以单片湿法化学清洗为主，其方法为使用卡盘机构夹持硅片旋转，同时使用不同的喷淋臂在硅片表面喷洒不同的清洗介质，对硅片进行清洗；同时，使用环状的工艺腔体对清洗介质进行收集；最后，借助氮气或者其它介质甩干硅片。但是在清洗硅片时硅片周围的气流紊乱容易造成硅片的污染，影响硅片的质量。现有的离心清洗机旋转喷头均由电机驱动喷杆旋转带动固定喷头旋转，高压水经旋转的喷杆到达喷头，再由喷嘴高速喷向附着物...
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