技术编号:9443399
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,属于光学仪器清洗。背景技术石英玻璃具有良好的低膨胀特性,因此被广泛的应用于精密光学器件、仪器仪表和各类真空腔体的观察窗口等。在石英玻璃零件的加工工艺中,常采用橡胶掩膜保护下的化学腐蚀方法,形成特定的结构,光学、电子等行业对石英玻璃零件的表面质量要求高,加工后的零件表面不允许残留橡胶掩膜的沾污;石英玻璃作为真空腔室的观察窗口,通常与橡胶密封圈在一定压差下紧密贴合,在更换密封圈时,需去除窗口上的橡胶沾污痕迹,以保证真空腔体的漏率要求。在现有技术中,...
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