技术编号：9445285
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。基板的对位是传送设备以及基板在进入制程设备时必不可少的一个动作，主要目的是为了修正基板的位置，使基板进入制程设备时位置准确，保证制程设备能够顺利进行下一步工艺制程，以及防止基板因为位置的错位造成传送过程中与设备干涉造成缺角或破片。请参阅图1至图3，为一种现有的基板对位机构的示意图。该基板对位机构包括数个支撑柱100、及位于所述数个支撑柱100两侧的数个对位柱200。所述数个支撑柱100用于在对位过程中承载基板300，所述基板300的底面直接与所述数个支撑柱...
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