技术编号:9446458
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 聚对二甲苯薄膜是由美国联合碳化物公司于六十年代中期开发应用的一种新型 涂层材料,商品名为派瑞林(Parylene),由对二甲苯环二体及其取代物通过真空气相沉积 工艺制备。它因具有良好的化学稳定性,生物相容性等特性而广泛应用于航天航空、微电 子、半导体、传感器、磁性材料、医药器械、文物保护等领域。在美国、西欧、日本等发达国家 得到了广泛和深刻的应用,已经深入到人们的日常生活中。Parylene薄膜原料制备及薄膜 涂覆工艺技术一直受国外专利保护。经过十几年的...
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