技术编号：9449939
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在WET单片晶圆清洗过程中，会用到多种化学品，并产生相应的清洗废液。多种废液目前一般采用混合排放，或者在硬件设计上，对废液做简单的酸碱排放分类，然后直接排放。这种排放方式会影响厂务废液处理的难度和成本，以及降低可回收化学品和水的品质和回收量。对废液的分类排放或回收能够有效的降低成本和利于环保。目前，在单片清洗制程中，最常用的制程为PRS和RCA，会有SCl，SC2，SPM、HF、IPA和DI等多种废液排放。当前的对废液排放分类不足，或者没有分类，造成厂务废...
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