基于微纳尺度材料光机电系统的超高灵敏度振动传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:9450731

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众所周知,日常生活中振动无处不在,例如,风、潮汐、声音、机械运动都会产生振动,振动不仅反映了物体所处的实际环境状况,而且对机械、设备、生物体等的正常运转、测量精度、使用寿命都具有重要的影响,因此精确测量振动的大小与方向是非常必要的。目前测量振动主要采用加速度传感器,包括压电式、压阻式、电容式、伺服式等等,以压电式为例,它主要是利用压电陶瓷或石英晶体的压电效应,当压电式加速度传感器接收振动时,质量块加在压电元件上的力也随之变化,当被测振动频率远低于压电式加速...
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