技术编号:9451362
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于薄膜热物性测试,具体涉及一种精确测定薄膜材料膜厚方向 电阻率的方法及其装置。背景技术 对于微纳米材料、微电子微机电系统(MEMS)、纳米薄膜热电材料而言,电阻率是非 常重要的物性参数。对于各种材料薄膜膜厚方向电阻率的测试已经有很多报道,但是由于 薄膜在厚度方向尺寸极小,通常为微米甚至纳米级,因此用于宏观尺寸样品的电阻率测试 方法均无法使用在薄膜样品厚度方向的测量中。如广泛使用的四探针法,在宏观样品的测 试中,由于可以排除电路电阻以及接触电阻的影...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。