技术编号：9452313
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。SU8材料是1995年由IBM公司开发出来的负性环氧胶，具有很高的紫外光敏特性，在制作塑性机械结构、微流体器件、微通道结构等MEMS方面获得了广泛的应用。SU8是由双酚A型环氧树脂溶解于γ- 丁内酯而形成的有机聚合胶体，阴平郡一个分子中汉以后8个环氧树脂得名。除了主体树脂外，SU8还含有光引发剂、添加剂和溶剂等成分。SU8焦磷过程主要分为两步(I)SUS中的光引发剂吸收光子，发生化学反应生成酸性催化剂；(2)酸性催化剂在热能的辅助作用下催化分子间环氧基反应...
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