技术编号:9454479
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。MEMS技术已稳定发展了一段时间,且结果已设想并验证了用于几个应用的各个MEMS装置。MEMS技术是一种有吸引力的提供惯性传感器(例如,用于测量直线加速度的加速计及用于测量角速度的陀螺仪)的方法。MEMS惯性传感器通常包括挠性接附到所述装置剩余部分的检测质量块。依据详细装置设计,由致动器驱动及/或由传感器以各种方式传感所述检测质量块与所述装置的剩余部分之间的相对运动。其他MEMS应用包括光学应用(例如,活动反射镜)及RF应用(例如,RF开关及谐振器)。由于...
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