增强透射性的双层混合成像探测器像元结构及其制备方法技术资料下载

技术编号:9454575

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本发明涉及微电子,具体涉及一种透射性能增强的双层可见光红外混合成像探测器像元结构及其制备方法。背景技术随着工业和生活水平的发展,单纯的红外成像或者单纯的可见光成像已不能满足需求,具有更宽波段的成像技术越来越受到关注,特别是能同时对可见光和红外光敏感的成像技术。然而,现有的混合成像器件中,采用透镜形成两条光路来分别对可见光和红外光进行感应成像,最后采用计算机处理系统合成在一起,由于光路的分离造成所形成的红外图像部分和可见光图像部分产生较大的对准偏差,严重影响...
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