技术编号:9456945
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利说明对平坦衬底进行基于激光的加工的方法和设备 本发明设及根据权利要求1的通用部分的优选平坦衬底的基于激光的加工及相 应的设备W及根据本发明的方法和设备的使用。该方法和设备尤其具有将诸如半导体晶 片、玻璃元件等(尤其具有脆性材料)之类的平坦衬底分成多个块(切割晶片或玻璃元件) 的目标。如下面更详细地描述的,通常使用具有材料对其基本上透明的波长的脉冲激光。 从现有技术中已经知道借助于激光分离运样的材料的设备和方法。 一方面(例如,DE10 2011 000...
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