技术编号:9457301
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 以往,作为液晶和有机EL面板等平板显示器、触控面板等的配线膜,Al或Al合金 被广泛使用。最近,实现了配线膜的微细化(窄幅化)及薄膜化,并要求比以往比电阻低的 配线膜。 于是,伴随着上述配线膜的微细化及薄膜化,提供一种使用比电阻低于Al或Al合 金的材料即铜或铜合金的配线膜。 在将这种铜或铜合金的配线膜(薄膜)形成于基板上的情况下,通常适用使用了 溅射靶的溅射法。 作为上述溅射靶,提出有例如如专利文献1中示出的平板型溅射靶、专利文献2中 示出的圆筒型溅射...
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