技术编号：9457460
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种辐射燃烧器和方法。背景技术辐射燃烧器是已知的并且通常被用于处理来自使用在例如半导体或平板显示器制造业中的制造加工工具的废气流。在这样的制造期间，残留全氟化合物(PFC)和其它化合物存在于从加工工具抽出的废气流中。PFC难以从废气去除并且将它们释放到环境中是不希望的，原因在于与二氧化碳相比，它们已知具有相对高的温室效应。应当理解的是各种半导体或平板显示器制造工艺都已被应用。例如，可以使用例如化学气相沉积、外延工艺和蚀刻工艺的工艺并且各个工艺将具...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。