技术编号:9457485
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及测量三维物体的表面形状的表面形状测量方法以及表面形状测量装 置。例如尤其涉及适合使用光来非破坏、非接触、高精度、宽倾斜角动态范围地测量反射面 或者折射面由曲面构成的光学元件的表面形状测量方法以及表面形状测量装置。背景技术 以往,作为使用光来非破坏、非接触且高精度地测量三维物体的表面形状的技术, 例如,如非专利文献1以及美国专利第5, 398, 113号说明书(公报)(专利文献1)所记载, 有如下的技术,即,通过组合发出白色光的光源和双光束干涉仪...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。