纳米结构体的制作方法技术资料下载

技术编号:9457564

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将利用基板表面的凸部或凹部形成的结构体按照可见光波长以下的微细间距多列配置的纳米结构体,作为对于可见光波长区的光发挥优异的防反射效果的蛾眼结构已为人所知,并且作为防反射膜等的光学元件而加以使用。关于具有蛾眼性能的纳米结构体,为了抑制外观上斑点的产生,已知以正弦波或三角波调制构成纳米结构体的各个结构体的排列而使之曲折行进(摆动)(专利文献I)。现有技术文献专利文献 专利文献1日本特许4535199号说明书。发明内容发明要解决的课题 另一方面,纳米结构体能...
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