技术编号：9457595
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。已提出有如下的曝光装置将按二维方式排列微透镜而成的微透镜阵列用作成像光学系统，将掩模上的曝光图案描绘到基板上(专利文献I)，上述曝光装置在液晶面板制造工序等中被实用化。在该方式的曝光装置中，在形成有曝光图案的掩模的上方配置射出曝光光而对掩模进行照明的照明单元，并将微透镜阵列配置在掩模与涂布了感光性抗蚀剂的基板之间。并且，通过一边使照明单元和微透镜阵列相对于掩模和基板相对地移动一边利用微透镜阵列将掩模上的曝光图案成像在基板上而曝光基板(参照专利文献2)。由此...
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