技术编号：9462808
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前市场上的晶圆划片机分为刀轮机和激光划片机，目前市场上的激光划片机CCD影像识别系统装在载台上面，跟激光作为同轴或同侧。刀片或激光都从背面划片或切害J，而晶粒和切割沟槽都在正面，背面没有沟槽，在划片时需要增加背面对位蚀刻线槽，从而增加几道工序，使得加工周期较长，效率不高，使用成本和破片率较增加。发明内容本发明提供一种缩短工期，降低破片率，提高效益的晶圆直切机。本发明解决其技术问题所采用的技术方案是晶圆直切机，它包括机台底座、位于机台底座顶部的基座、固定于...
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