一种纳米级谐振光子器件硅衬底刻蚀集成制备工艺的制作方法技术资料下载

技术编号:9464786

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磁电复合材料的磁电親合是一种磁-力-电的转换效应,在交变磁场作用下,磁电 复合材料中的磁致伸缩相产生动态应变,通过力的传递来驱动压电相产生受迫振动;在某 一特定的交变磁场的频率下,磁电复合材料必然产生谐振现象,此时的交变磁场频率称为 谐振频率;在谐振频率下,磁电复合材料往往得到比较大的磁电电压系数。 III族氮化物材料具有优良的物理化学性能,是研制光电子器件的新型半导体材 料。制备氮化物光子器件结构的过程中,不可避免会引入刻蚀损伤,降低器件的性能;通过 ...
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