技术编号:9467199
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在目前,工业生产中常采用光学真空蒸发镀膜设备为产品表面镀制涂覆膜层,而产品范围十分广泛,如磁性材料、医疗器具器械部件、电路板、电子元器件、半导体材料、光学器件、光电产品、手机配件、饰物或其原材料等,由于镀膜技术的日益成熟使得镀膜效果也较为满意,但是,在真空蒸发镀膜设备的镀膜炉腔室内,由于长期作业使其炉体内壁产生灰尘积层,而这些灰尘积层在产品镀膜过程中会由于镀膜炉腔室内产生的束流撞击而发生散射,甚至沉积到待镀膜或者正在镀膜的产品上,造成产品表面存在灰层或脏污...
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