技术编号：9467201
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 金属纳米粒子由于其小尺寸而表现出其相应体材料不同的电学、光学、磁学和催 化等物理化学性质，使得其在催化、非线性光学、电子设备、生物传感等方面具有重要的应 用，特别是有序纳米材料，对纳米科技具有重要意义，如构筑纳米电子电路等。目前，常规 的金属薄膜有序微结构的制备方法包括电子束光刻W及纳秒脉冲激光直写等方法，然而均 存在比较明显的不足之处，例如，光刻技术由于工艺流程多而且使用光刻胶，所W既耗时又 非常昂贵，尤其对于亚微米特征尺寸的微结构更是如此；而皮秒激光...
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