技术编号:9467232
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 随着诸如LCD、PDP和OL邸特别是TFT-LCD的平板显示器用屏幕变大,已经广泛重 新考虑采用铜或铜合金组成的单层,或者采用铜或铜合金/其它金属、其它金属的合金或 者金属氧化物的大于两层的多层,W便降低布线电阻并提高与介电娃层的粘附性。例如,铜 /钢层、铜/铁层或铜/钢-铁层可W形成为TFT-LCD的栅线和构成数据线的源/漏线,并 且可能有助于扩大显示器用屏幕。因此,需要开发具有优异蚀刻特性的组合物用于蚀刻包 含铜基层的运些金属层。 作为上面提到的蚀刻...
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