技术编号:9467315
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。蓝宝石的组成为三氧化二铝(Al2O3),是一种重要的光电子材料,具有硬度高、透过波段宽、抗热冲击性能高以及强度大等特点,因此在机械、电子、光学、LED照明、半导体器件以及航空航天和军工领域都有着广泛的用途。尤其是蓝宝石晶格结构与氮化镓相匹配,是目前使用最广泛、技术最成熟的LED衬底材料。LED衬底材料制备过程包括蓝宝石晶体生长、蓝宝石晶棒加工及蓝宝石晶片加工三个过程,形成了晶锭、晶棒及晶片三种物质。其中,蓝宝石晶体生长过程是在蓝宝石晶体生长设备(晶体炉)中...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。