技术编号：9469858
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在利用硅微加工技术实现的产品中，压力传感器是发展较为成熟的一类。目前，压力传感器已广泛应用于各种工业和生物医学领域。目前市面上主流的压力传感器为压阻式压力传感器。传统的压阻式压力传感器，空腔正上方区域均为可动敏感薄膜，可动敏感薄膜直接与锚区相连。压阻条位于可动敏感薄膜四周边缘中心处，当可动敏感薄膜受到压力作用时，向下弯曲。由于可动敏感薄膜与锚区完全相连，可动敏感薄膜四周均受到锚区的拉力，应力分散，灵敏度较低。发明内容技术问题本发明所要解决的技术问题是提供一...
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