技术编号：9469872
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。传统的压力检测装置，主要是以弹簧为核心的机械式压力表，由于压力表读数较为困难，而且尺寸大、质量重，不能提供电学输出，因此随着电子技术的发展，尤其是半导体技术的发展，出现了半导体压力传感器，半导体压力传感器特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好，特别是随着MEMS技术的发展，半导体传感器向着微型化发展，而且其功耗小、可靠性高。但目前在低成本条件下，压力传感器还难以避免极大误差首先的偏移量误差由于压力传感器在整个压力范围内垂直偏移保持恒定，因此变换器扩散和...
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