技术编号:9470836
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体制造业中数据管理技术,尤其涉及一种关于半导体数据收集、处理、管理的系统及其方法。背景技术半导体机台的制程参数是指在半导体制程中表征生产设备性能的数据的集合,包括温度、压力、电流、浓度、时间等。这些参数的准确和稳定与否决定了每道工序的质量,如果在晶圆加工过程中某些参数出现异常,就有可能会影响到晶圆的最终良率。现有的技术,是通过给工程师提供所有参数数据,从而根据工程师的经验设定在半导体制程中的制程参数范围。参考得到的参数数据的制程参数范围,...
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