技术编号:9471190
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及半导体,特别是涉及一种用于半导体设备控制软件的动态加 载界面导航的方法及系统。背景技术 软件的界面导航体现了软件模块划分的层次,用户通过界面导航可以进入指定的 功能页面。在一个典型的半导体设备控制软件中,通常具有三级导航第一级导航为主功能 模块划分,例如,日志模块、配方模块、权限模块等;第二级导航为主功能模块下对应的子功 能页面划分,例如,配方模块下可以有工艺配方编辑页面、晶圆路径编辑页面等;第三级导 航是对于多腔室设备,涉及到区分不同腔室操作...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
请注意,此类技术没有源代码,用于学习研究技术思路。