技术编号：9472633
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。随着射频集成电路的快速发展，对集成电路的高性能、低功耗、集成度的要求越来越高。为了保证集成电路工艺的稳定性和均匀性，集成电路的设计和优化显得尤为重要。在整个集成电路中，电感器是一个应用十分广泛的元件。在电感器制作工艺中，在电感线圈下方通常都有源层(AA)、多晶硅(Poly)、金属(Metal)等形成的屏蔽结构(该屏蔽结构如图1所示)，传统的屏蔽结构使得电感器在工作过程中产生较大的涡流。涡流越大电感器的损耗则越大，电感器的电感随之减小，同时，电感器的品质因素...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。